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一、技術要求
產水壓力：0.4MPa
產水水質：按ASTM D5127-2013 E-1.1級的水質標準
產水水質標準
序號 | 名 稱 | 單 位 | 數據 | 備注 |
1 | 電阻率（25℃） | MΩ.CM | 18．2 | |
2 | TOC | μg/L | 2 | |
3 | 溶解氧 | μg/L | 10 | |
4 | 蒸發殘渣 | μg/L | 0.5 | |
5 | 在線顆粒/升（微米） | |||
6 | 0.05～0.1 | 個 | 1000 | 在線監測 |
7 | 0.1～0.2 | 個 | 350 | 在線監測 |
8 | 0.2～0.5 | 個 | ＜100 | 在線監測 |
9 | 0.5～1.0 | 個 | ＜50 | 在線監測 |
10 | 1.0 | 個 | ＜20 | 在線監測 |
11 | SEM顆粒檢測/升（微米） | |||
12 | 0.1～0.2 | 個 | 700 |
13 | 0.2～0.5 | 個 | 400 | |
14 | 0.5～1.0 | 個 | 50 | |
15 | 10 | 個 | ＜30 | |
16 | 細菌/100mL | |||
17 | 100mL取樣 | 個 | 3 | |
18 | 總矽 | μg/L | 3 | |
19 | 溶解矽 | μg/L | 1 |
運行要求：年連續運轉8000小時
管閥材質：采用進口PVDF超純型管道閥門，熱熔對焊。
二、產品先進性分析
設備回收率：EDI裝置回收率≥90%，EDI濃水全部回流至廠區除鹽水係統原水箱。
設備控製：采用PLC+上位機全自動運行方式，同時可手動運行，係統帶自檢功能，聲光報警。係統運行參數可存儲，可打印。正常運行為自動，檢修為手動，可實現無人值守。係統運行實況可於在線流程模擬屏上實時顯示，如水箱液位的具體高度，增壓泵出口壓力，產水流量，EDI產水電阻率，產水流量，拋光混床產水電阻率、產水流量以及終端產水電阻率、在線監測微粒數等參數。
供水方式：超純水係統供水采用不間斷循環供水方式，回路設計背壓閥保持循環量。
